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無(wú)錫松煜科技有限公司

我們是專(zhuān)業(yè)從事光伏及半導(dǎo)體工藝裝備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售為一體的智能裝備制造企業(yè)。

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主要產(chǎn)品有: ALD，PECVD，LPCVD，常壓、低壓擴(kuò)散爐，氧化爐，退火爐，石墨烯、碳納米管合成爐，立式真空爐，氫氣爐，真空釬焊、熱處理爐等真空熱工設(shè)備。

半切片邊緣鈍化設(shè)備

1、半片電池效率提升0.2%以上，普適于TOPCon、HIT、xBC等新型電池 2、大產(chǎn)能，?210半片產(chǎn)能＞25000/h?or?40000/h（兩款機(jī)型） 3、疊層膜設(shè)計(jì)，即保證鈍化效果、電池存放時(shí)間，又可提升組件可靠性；另外低膜厚、低折射率膜層設(shè)計(jì)保證電池外觀(guān) 4、采用低溫工藝設(shè)計(jì)和尾排結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)保證膜層均勻性的同時(shí)減少過(guò)鍍（過(guò)鍍范圍低于7mm） 5、預(yù)熱腔、工藝腔、退火腔三功能腔體無(wú)出腔設(shè)計(jì)保證產(chǎn)量節(jié)拍的同時(shí)，盡可能提升膜層鈍化性能，且排除柵線(xiàn)氧化干擾

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ALD原子層沉積設(shè)備

太陽(yáng)能ALD原子層沉積是通過(guò)將氣相前軀體TMA和H20(或TMA和O3)脈沖交替地通入反應(yīng)腔室內(nèi)并在沉積基體上化學(xué)吸附反應(yīng)生成沉積膜AL2O3的一種設(shè)備，主要應(yīng)用到光伏PERC、TOPCON等新型工藝上，用于提高太陽(yáng)能電池片的轉(zhuǎn)換效率。

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微控?cái)U(kuò)散爐

擴(kuò)散爐應(yīng)用于分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽(yáng)能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)ψ钇M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2~8英寸工藝尺寸。

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PECVD等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

主要用于在晶體硅太陽(yáng)能電池制造中在硅片上沉積AlxOy, SiO2/SiOxNy , SixNy薄膜。

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LPCVD低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備

松煜L PCVD低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備,用加熱的方式在低壓條件下使氣態(tài)化合物在基片表面反應(yīng)并積淀形成固定固體薄膜(SiOz, POLY-Si,P+POLY-Si)，目前主要使用方向?yàn)? TOPCon與POLO(POLY-Si)電池工藝路線(xiàn)。

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低壓管式高溫硼磷擴(kuò)散系統(tǒng)/退火爐/氧化爐

松煜硼、磷擴(kuò)散爐是最新型低壓擴(kuò)散爐，低壓擴(kuò)散是通過(guò)真空泵的作用，使反應(yīng)腔體處于真空狀態(tài)，然后通入工藝氣體，擴(kuò)散過(guò)程使腔室維持在穩(wěn)定恒定的真空狀態(tài)，從而保證腔室內(nèi)硼或磷原子濃度不變。由于真空條件下氣體分子自由程增加，氣體分子在硅片表面的附著能力也有很大改善且避免了出現(xiàn)大量氣體湍流，此時(shí)硼或磷原子可以均勻地分布在硅片表面，且在硅片表面擴(kuò)散一層均勻的雜質(zhì)原子，從而保證硅片擴(kuò)散的均勻性。

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松煜科技

智能裝備制造商

松煜科技是一家專(zhuān)業(yè)從事光伏及半導(dǎo)體工藝裝備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售為一體的智能裝備制造企業(yè)。目前公司主要產(chǎn)品有: ALD，PECVD，LPCVD，常壓、低壓擴(kuò)散爐，氧化爐，退火爐，石墨烯、碳納米管合成爐，立式真空爐，氫氣爐，真空釬焊、熱處理爐等真空熱工設(shè)備?？蓮V泛用于半導(dǎo)體集成電路、焊接封裝、IGBT、MEMS、光伏電池制造及其他新能源、新材料、真空電子和磁性材料等領(lǐng)域，各類(lèi)技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)內(nèi)裝備制造的先進(jìn)水平。

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技術(shù)支持

先進(jìn)、成熟的工藝支持，工藝控制軟件終身免費(fèi)服務(wù)、升級(jí)；非換代設(shè)備的成本價(jià)設(shè)備技術(shù)升級(jí)；新工藝、新產(chǎn)品的技術(shù)和設(shè)備保障；基于豐富的建線(xiàn)、工藝和設(shè)備經(jīng)驗(yàn)，為客戶(hù)免費(fèi)提供前和售后的各類(lèi)技術(shù)咨詢(xún)支持；

售后服務(wù)

一年質(zhì)保期；24小時(shí)服務(wù)熱線(xiàn)，24小時(shí)服務(wù)響應(yīng)；終身售后服務(wù)及備品備件供應(yīng)；每年不少于兩次的設(shè)備巡檢養(yǎng)護(hù)及狀態(tài)調(diào)整。

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2024-12-11

捷報(bào)！松煜設(shè)備海外持續(xù)開(kāi)花結(jié)果

松煜致力于全球化布局，不僅在全球設(shè)有多家服務(wù)代理和辦事處，還專(zhuān)門(mén)成立了海外技術(shù)團(tuán)隊(duì)服務(wù)于美國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣、東南亞、中東、非洲、歐洲等客戶(hù)，從而能夠快速響應(yīng)當(dāng)?shù)乜蛻?hù)的需求。為提升國(guó)際業(yè)務(wù)服務(wù)質(zhì)效，賦能客戶(hù)全球業(yè)務(wù)拓展，一方面，松煜海外已擁有一批與全球配套服務(wù)相關(guān)的安裝、調(diào)試和售后工程師；另一方面，繼越南、柬埔寨、泰國(guó)、老撾之后，隨著與印度、埃及、阿曼、埃塞俄比亞、土耳其等客戶(hù)工作的有序深入開(kāi)展，松煜已搭建了一套全球化的服務(wù)和項(xiàng)目管控體系以此更好的服務(wù)客戶(hù)。

2024-11-15

松煜半片邊緣鈍化設(shè)備連續(xù)獲得批量訂單突破！

疊層膜設(shè)計(jì)，即保證鈍化效果、電池存放時(shí)間，又可提升組件可靠性；另外膜層、低折射率層膜設(shè)計(jì)保證電池外觀(guān)?；