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低壓管式高溫硼磷擴(kuò)散系統(tǒng)/退火爐/氧化爐

松煜硼、磷擴(kuò)散爐是最新型低壓擴(kuò)散爐，低壓擴(kuò)散是通過真空泵的作用，使反應(yīng)腔體處于真空狀態(tài)，然后通入工藝氣體，擴(kuò)散過程使腔室維持在穩(wěn)定恒定的真空狀態(tài)，從而保證腔室內(nèi)硼或磷原子濃度不變。由于真空條件下氣體分子自由程增加，氣體分子在硅片表面的附著能力也有很大改善且避免了出現(xiàn)大量氣體湍流，此時(shí)硼或磷原子可以均勻地分布在硅片表面，且在硅片表面擴(kuò)散一層均勻的雜質(zhì)原子，從而保證硅片擴(kuò)散的均勻性。

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體 光伏 工業(yè)爐

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松煜硼、磷擴(kuò)散爐是最新型低壓擴(kuò)散爐，低壓擴(kuò)散是通過真空泵的作用，使反應(yīng)腔體處于真空狀態(tài)，然后通入工藝氣體，擴(kuò)散過程使腔室維持在穩(wěn)定恒定的真空狀態(tài)，從而保證腔室內(nèi)硼或磷原子濃度不變。由于真空條件下氣體分子自由程增加，氣體分子在硅片表面的附著能力也有很大改善且避免了出現(xiàn)大量氣體湍流，此時(shí)硼或磷原子可以均勻地分布在硅片表面，且在硅片表面擴(kuò)散一層均勻的雜質(zhì)原子，從而保證硅片擴(kuò)散的均勻性。

擴(kuò)散超長(zhǎng)恒溫區(qū) 點(diǎn)控溫&推拉舟與石英舟配置

 

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