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微控?cái)U(kuò)散爐
擴(kuò)散爐應(yīng)用于分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽(yáng)能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)ψ钇M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2~8英寸工藝尺寸。
關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體 光伏 工業(yè)爐
所屬分類：
產(chǎn)品描述
擴(kuò)散爐應(yīng)用于分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽(yáng)能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)ψ钇M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2~8英寸工藝尺寸。
控制系統(tǒng)特點(diǎn)
可保存多條工藝曲線,每條曲線可設(shè)置多步自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能
PID參數(shù)自整定功能
系統(tǒng)故障自診功能
停電后斷電繼續(xù)運(yùn)行功能等等具有歷史記錄功能
具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償
工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能
工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能工藝氣體的程序控制功能
關(guān)鍵件全部具有高可靠性
具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng),良好的人機(jī)界面具有多種故障報(bào)警及各種安全互鎖保護(hù)功能
★該系統(tǒng)可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開(kāi)發(fā)相應(yīng)的功能
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