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PECVD等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
主要用于在晶體硅太陽(yáng)能電池制造中在硅片上沉積AlxOy, SiO2/SiOxNy , SixNy薄膜。
關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體 光伏 工業(yè)爐
所屬分類：
產(chǎn)品描述
用途
主要用于在晶體硅太陽(yáng)能電池制造中在硅片上沉積AlxOy, SiO2/SiOxNy , SixNy薄膜。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
工藝靈活多變，可實(shí)現(xiàn)多層復(fù)合膜。
獨(dú)特的懸臂推拉舟，減少了進(jìn)出舟時(shí)間，縮短工藝總時(shí)間，提升了設(shè)備的產(chǎn)能，提升設(shè)備稼動(dòng)率。
超長(zhǎng)恒溫區(qū)，6點(diǎn)控溫和爐內(nèi)獨(dú)特的加熱器，加上智能串級(jí)溫度控制系統(tǒng)對(duì)爐體溫度進(jìn)行獨(dú)立精準(zhǔn)控制，是爐溫均勻性，穩(wěn)定性的有力保證。
真空泵前端增加特制過(guò)濾器，減少真空泵卡死機(jī)率，提高真空泵使用壽命，提升設(shè)備稼動(dòng)率。
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